TZM-Legierungs-Ionenimplantationskomponenten

Beschreibung der TZM-Legierungs-Ionenimplantationskomponenten

Die Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess, der in der Herstellung von Halbleitergeräten, der Metallveredelung und der materialwissenschaftlichen Forschung weit verbreitet ist. Der wichtigste Teil eines Implantiersystems ist der Strahlengang, in den Komponenten eingebunden sind. Hier werden die Ionen erzeugt, konzentriert, beschleunigt und gezielt auf den Wafer gerichtet. Die Ionenimplantationskomponenten bestehen häufig aus TZM-Legierung, Molybdän, Wolfram, da dieses Material eine Kombination aus Korrosionsbeständigkeit, Festigkeit und hoher Wärmeleitfähigkeit aufweist und in rauen Umgebungen gut funktioniert.

Eigenschaften von Ionenimplantationskomponenten aus TZM-Legierungen

● Hoher Schmelzpunkt

● Hervorragende Kriechfestigkeit

● Hervorragende Korrosionsbeständigkeit

● Gute elektrische und thermische Leitfähigkeit

● Hervorragende Reinheit

Anwendungen für Ionenimplantationskomponenten aus TZM-Legierungen und verwandte Branchen

● Wird zur Herstellung von Halbleitern verwendet.

● Wird in der Metallveredelung zum Härten von Werkzeugstahl und zur Oberflächenveredelung verwendet.

● Wird beim Ionenstrahlmischen verwendet, um eine abgestufte Grenzfläche zu erreichen und die Haftung zwischen nicht mischbaren Materialien zu verstärken.

● Kammern (Wolfram, Molybdän und Legierungen)

● Filamente (Wolfram und Wolframlegierungen)

● Lichtbogenschlitze (Wolfram, Molybdän und Legierungen)

● Halter (Wolfram, Molybdän und Legierungen)

● Kathoden (Wolfram, Molybdän und Legierungen)

● Ersatzteile (Wolfram, Molybdän und Legierungen, Keramik, Stahl)

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